中芯國際77億購買光刻機，具體是和誰合作的?

　　根據(jù)3月3日 消息，中芯國際發(fā)布了一則公告，內(nèi)容顯示中芯國際已經(jīng)與ASML公司簽下大筆采購訂單，這次中芯國際將斥資12億美元，約合人民幣77億購買ASML產(chǎn)品。

　　中芯國際在公告中表示：“于2021年2月1日，本公司與阿斯麥上海簽訂了經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議，據(jù)此，阿斯麥批量采購協(xié)議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。”

　　阿斯麥?zhǔn)茿SML Holding N.V。的附屬公司之一。荷蘭公司ASML是全球最大的光刻機制造商，光刻機是芯片制造所需的關(guān)鍵設(shè)備。ASML在45nm以下制程的高端光刻機市場中占有85%的份額;在EUV(極紫外)光刻機領(lǐng)域則處于 壟斷地位，市場占有率100%。

　　值得注意的是，對于這項12億美元訂單包含的產(chǎn)品、機器型號，公司尚未公布。而不同類型的設(shè)備，對于中芯國際研發(fā)生產(chǎn)能力的推進(jìn)有很大不同，究竟是能解決高端芯片、還是中低端芯片的擴產(chǎn)，尚未可知。

　　除了期限的延長之外，中芯國際在公告中披露了此前的購買金額。中芯國際根據(jù)批量采購協(xié)議，已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間，就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單，總代價約為12億美元(約77億人民幣)。

　　光刻機的作用是什么?

　　光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一，按照用途可以分為好幾種：有用于生產(chǎn)芯片的光刻機;有用于封裝的光刻機;還有用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機。

　　用于生產(chǎn)芯片的光刻機是中國在半導(dǎo)體設(shè)備制造上最大的短板，國內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進(jìn)口，本次廈門企業(yè)從荷蘭進(jìn)口的光刻機就是用于芯片生產(chǎn)的設(shè)備。

　　在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。

　　一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片，線路圖的層數(shù)越多，也需要更精密的曝光控制過程。

　　中芯國際77億購買光刻機要干什么?

　　此次簽訂的購買單，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV(深紫外)光刻機。近期接受機構(gòu)調(diào)研時，中芯國際聯(lián)合首席執(zhí)行官趙海軍表示，目前公司依然是滿載運營，預(yù)計今年第一季度營收會回到10億美元以上。此前，中芯國際預(yù)計，2021年全年收入目標(biāo)為中到高個位數(shù)成長。

　　當(dāng)前中芯國際正布局先進(jìn)和傳統(tǒng)制程兩類芯片，都需要光刻機的支撐。阿斯麥的EUV(極紫外光刻技術(shù))，能推進(jìn)中芯國際7nm/5nm芯片，而其DUV(深紫外線光科技術(shù))則支撐著中芯國際傳統(tǒng)產(chǎn)線的建造和擴產(chǎn)，例如公司在今年最被市場看好的8英寸芯片產(chǎn)能，就來自傳統(tǒng)產(chǎn)線。

　　根據(jù)公開材料，目前EUV設(shè)備正受國際協(xié)議限制形成了出口管制，而在芯片制造廠中運用廣泛的DUV設(shè)備，是不受國際協(xié)議限制的。

　　其中，美國部分供應(yīng)商中A公司已經(jīng)拿到相關(guān)許可證，L公司和K公司還在等待結(jié)果，判斷后邊也會陸續(xù)拿到許可證，許可證以10nm為分界點，14nm及以上工藝制程相關(guān)產(chǎn)品獲得許可，10nm及以下節(jié)點未拿到許可證。

　　3月2日，有投資者在互動平臺“上證e互動”向中芯國際求證上述事項。

　　中芯國際近期有何大動作?

　　3月1日，有媒體報道，為中芯國際提供高制程(14nm及以上)工藝部分產(chǎn)品所需設(shè)備的美國設(shè)備商，已獲美許可證，而該批次與中芯國際部分成熟制程工藝設(shè)備供應(yīng)商為同次獲批。

　　當(dāng)日興業(yè)證券(601377,股吧)研究所電子團(tuán)隊(下稱“興證電子”)也發(fā)布報告對上述消息進(jìn)行了確認(rèn)，表示經(jīng)其產(chǎn)業(yè)鏈驗證，中芯國際部分供應(yīng)商已經(jīng)拿到相關(guān)許可證。

　　該公司在回應(yīng)中并未直接證實此事，僅表示：“公司會盡最大努力，持續(xù)攜手全球產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，保證公司生產(chǎn)連續(xù)性及擴產(chǎn)規(guī)劃不受影響。雖然不確定性依然存在，但我們始終堅持依法合規(guī)經(jīng)營，有信心保證公司短期內(nèi)生產(chǎn)經(jīng)營不受重大不利影響。”

　　根據(jù)上周消息，中芯國際還聯(lián)合國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及另一家投資公司成立了中芯京城集成電路制造公司，計劃投資500億建設(shè)晶圓廠，預(yù)計2024年即可完工，預(yù)計產(chǎn)能可達(dá)10萬片/月。

　　此外，截至目前中芯國際在全國范圍內(nèi)已經(jīng)建有8座晶圓廠，其中300mm晶圓廠5個，200mm晶圓廠3個。

　　當(dāng)然更重要的是，根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松博士的透露，中芯國際在芯片制造工藝上已經(jīng)攻克到3nm，只要EUV光刻機就位就能完成3nm芯片量產(chǎn)。

　　光刻機中國能造嗎?

　　中國不是不能造光刻機，只是不能造高端光刻機，上海微電子已經(jīng)能造90nm制程光刻機，在2021到2022年可能即將交付28nm制程的光刻機，但這也和業(yè)界 的荷蘭5nm光刻機有非常大差距，現(xiàn)在 端的手機已經(jīng)用上了5nm的SOC芯片，28nm不能滿足市場競爭要求。

　　光刻機是作為一個商業(yè)競爭和關(guān)乎國家經(jīng)濟(jì)安全的產(chǎn)品，它不但要做出來還要足夠好，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個贏家通吃的行業(yè)。在激烈競爭的手機市場中，如果競爭對手旗艦機型采用了 的5nm芯片，你卻用14nm，你就會失去市場。Intel的CPU已經(jīng)是11代的i7了，那用i3的電腦是不可能占據(jù)高端市場。

　　所以光刻機要達(dá)到業(yè)界領(lǐng)先才有競爭力，那就是說技術(shù)迭代周期遠(yuǎn)遠(yuǎn)短于原子彈，因此其發(fā)展難度非常高。它是橫跨多學(xué)科，產(chǎn)業(yè)的 理論技術(shù)，工藝的半導(dǎo)體皇冠上的明珠，一臺光刻機是有十萬個部件組成，融合數(shù)學(xué)、化學(xué)、精密光學(xué)、流體力學(xué)、精密機械、自動化控制、軟件工程、圖像識別、電子電路等領(lǐng)域的頂尖技術(shù)而成的產(chǎn)物，它依賴于各個學(xué)科的進(jìn)步，只要一個學(xué)科有瓶頸就造不出，中國要發(fā)展到5nm可能要十年。

　　寫在最后

　　簡單捋一下時間線，3月1日，中芯國際傳出解禁的消息;3月2日，中芯國際作出回應(yīng)，稱將“盡最大努力”保證規(guī)劃生產(chǎn);3月3日，中芯國際發(fā)布公告，豪擲77億購買ASML產(chǎn)品。

　　毫無疑問的是，這對于中芯國際而言是一個大好消息，同時對于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言也是一個大好消息。

　　但是在高興之余，我們也不要忘了，在全球化的大背景下，向上游供應(yīng)鏈采購原材料和設(shè)備，這本來就是一種再正常不過的商業(yè)行為，但是為什么如今會需要得到他人同意?并且還要因為得到解禁而“高興”、“歡呼”?

　　這一點值得所有中國企業(yè)深思。

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